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      為什么原來說7nm是半導(dǎo)體工藝的極限,但現(xiàn)在又被突破了?

      2020-11-03 14:04閱讀(61)

      為什么原來說7nm是半導(dǎo)體工藝的極限,但現(xiàn)在又被突破了?:在半導(dǎo)體行業(yè),所謂工藝極限是特定而相對的,特定指的是7nm極限是在半導(dǎo)體FinFET工藝下的物理極限;而

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      在半導(dǎo)體行業(yè),所謂工藝極限是特定而相對的,特定指的是7nm極限是在半導(dǎo)體FinFET工藝下的物理極限;而相對的意思是每次遇到瓶頸的時候,工業(yè)界都會引入新的材料或結(jié)構(gòu)來克服傳統(tǒng)工藝的局限性。


      10年前我們遇到了65nm的工藝極限,工業(yè)界引入了HKMG,用High-K介質(zhì)取代了二氧化硅。


      5年前我們遇到了22nm的工藝極限,工業(yè)界發(fā)明了FinFET和FD-SOI,前者用立體結(jié)構(gòu)取代平面器件來加強(qiáng)柵極的控制能力,后者用氧化埋層來減小漏電。


      現(xiàn)在7nm是新的工藝極限,工業(yè)界使用了砷化銦鎵取代了單晶硅溝道來提高器件性能。


      當(dāng)然這里面的代價也是驚人的,每一代工藝的復(fù)雜性和成本都在上升,現(xiàn)在還能夠支持最先進(jìn)工藝制造的廠商已經(jīng)只剩下Intel、臺積電、三星和GlobalFoundries了。


      至于7nm以下,就要依賴極紫外(EUV)光刻機(jī)了。


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      先前,媒體曾報導(dǎo),7nm制程工藝最逼近硅基半導(dǎo)體工藝的物理極限。后來,媒體又報導(dǎo),7nm工藝并非半導(dǎo)體工藝的極限,后面還依次有5nm工藝、3nm工藝,且5nm工藝、3nm工藝并沒有突破硅材料半導(dǎo)體工藝的極限。極限本來是一個數(shù)學(xué)術(shù)語,廣義的極限指的是“無限靠近且永遠(yuǎn)不能到達(dá)”的意思。于是,既然7nm工藝后還依次有5nm工藝、3nm工藝,那么,“為什么原來說7nm工藝是半導(dǎo)體工藝的極限,但現(xiàn)在又被突破了”,更準(zhǔn)確的說法該是,“為什么原來說7nm工藝是半導(dǎo)體工藝的極限,但現(xiàn)在卻又出現(xiàn)了5nm工藝,3nm工藝呢”。

      芯片上集成了太多太多的晶體管,晶體管的柵極控制著電流能不能從源極流向漏極,晶體管的源極和漏極之間基于硅元素連接。隨著晶體管的尺寸逐步縮小,源極和漏極之間的溝道也會隨之縮短,當(dāng)溝道縮短到一定程度時,量子隧穿效應(yīng)就會變得更加容易。晶體管便失去了開關(guān)的作用,邏輯電路也就不復(fù)存在了。2016年的時候,有媒體在網(wǎng)絡(luò)上發(fā)布一篇文章稱,“廠商在采用現(xiàn)有硅材料芯片的情況下,晶體管的柵長一旦低于7nm、晶體管中的電子就很容易產(chǎn)生量子隧穿效應(yīng),這會給芯片制造商帶來巨大的挑戰(zhàn)”。所以,7nm工藝很可能,而非一定是硅芯片工藝的物理極限。

      (注釋:Source為源極,Drain為漏極,Gate為柵極。)

      據(jù)業(yè)內(nèi)人士分析,“臺積電的3nm制程,很可能才是在摩爾定律下最后的工藝節(jié)點,并且臺積電的3nm工藝會是關(guān)鍵的轉(zhuǎn)折點,以銜接1nm工藝及1nm之下的次納米新材料工藝”。前不久,臺積電的創(chuàng)始人兼董事長張忠謀也表示,摩爾定律在半導(dǎo)體行業(yè)中起碼還可存續(xù)10年,這其中就包括5nm工藝、3nm工藝,而臺積電會不會研發(fā),以及能否研發(fā)出2nm工藝,則需要再等幾年才能確定。

      最后要說的是,即便硅基芯片終有一天非常非常地接近物理極限,人們還可以尋找到其他如采用新材料等技術(shù)路徑來驅(qū)動計算性能持續(xù)提升。

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      現(xiàn)在的技術(shù)不是在不斷發(fā)展,芯片的制造會越來越精致精細(xì)。芯片的制程在不斷地縮小,這就說明芯片的面積在不斷地變小,F(xiàn)在又要把CPU的面積做大,不是在增加成本,又再走回原來的路。所以不可能把CPU在做大。

      1. CPU是可以制定尺寸的,成本的高低是重要的因素。

      首先必須舉個例子來說明,加入有一個一定大小的晶圓,用22nm的工藝切出來的芯片肯定少于用16nm工藝切出來的芯片數(shù)量。這就說明了芯片的面積越小,晶圓的利用率就在增大,那么制作芯片的成本就在降低。還有晶圓的雕飾是屬于很精密的技術(shù),那么出來的合格的數(shù)量越多,那么也會降低成本,小芯片也因此避開了瑕疵這一問題。

      2. 成本原因是一方面,但是影響芯片大小的還有功耗問題。

      現(xiàn)在假設(shè)把CPU做大,那么就以為這里面要塞更多的芯片,而且現(xiàn)在的芯片越來越小,那么安裝的芯片就會更多,那么每個芯片都是有功耗的,也就是說,這樣會造成功耗直線飆升。這樣還要考慮散熱問題,如果沒有完善的散熱裝置,那么隨著電腦的厚度增加,死機(jī)問題會嚴(yán)重,還有電源該如何滿足這樣的大能耗。

      3. 芯片是可以做大的,大的芯片也是存在的,但是沒有這個必要。

      像最新的ryzen,這個CPU就有手掌那么大,性能卻是會比較高,但是現(xiàn)在已經(jīng)屬于CPU性能過剩了,所以就沒有這個必要了。還有過大一定會造成核心之間的矛盾,高速緩存和核心之間產(chǎn)生了延遲性,降低了CPU原本該有的性能。而且不考慮把電腦變大,也就是說現(xiàn)在的電腦主機(jī)就那么大,主板也會只有那么大,CPU造大了,如何設(shè)計主板位置安放呢,電路的設(shè)計怎么辦呢?

      現(xiàn)在技術(shù)都在進(jìn)步,更好的支撐和晶體管技術(shù)必將會帶來更優(yōu)秀更精致的CPU。

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      芯片一直是一個熱點話題,雖然很多人都是門外漢,但是眾所周知,7nm制程工藝最逼近硅基半導(dǎo)體工藝的物理極限。不過,這也僅僅是受先前技術(shù)條件限制的現(xiàn)實數(shù)據(jù),隨著技術(shù)的發(fā)展,其極限遠(yuǎn)超乎我們的想象。

      1、從物理極限這個定義上看

      從芯片的制造來看,7nm就是硅材料芯片的物理極限。但是,極限本來是一個數(shù)學(xué)術(shù)語,廣義的極限指的是“無限靠近且永遠(yuǎn)不能到達(dá)”的意思。所以理論上來看,7nm工藝并非半導(dǎo)體工藝的極限,隨著科技的發(fā)展,后面還依次有5nm工藝、3nm工藝。

      2、從芯片的技術(shù)層面來看

      據(jù)了解,由于芯片上集成了若干個的晶體管,按照現(xiàn)階段的技術(shù)條件來看晶體管的柵長一旦低于7nm、晶體管中的電子就很容易產(chǎn)生量子隧穿效應(yīng),這會給芯片制造商帶來巨大的挑戰(zhàn)。不過,據(jù)業(yè)內(nèi)人士分析,臺積電的3nm制程,很可能才是在摩爾定律下最后的工藝節(jié)點。

      總之,縮短晶體管柵極的長度也就是縮小芯片的物理極限可以使CPU集成更多的晶體管或者有效減少晶體管的面積和功耗,并削減CPU的硅片成本。而技術(shù)的發(fā)展過程中,芯片的物理極限不會是一個固定值。

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      本人從事的就是半導(dǎo)體器件行業(yè),我想表達(dá)一下我的看法,歡迎大家留言討論喲

      言歸正傳,從題目來看我想糾正一下概念,在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)類似于14nm,10nm,7nm等屬于半導(dǎo)體制程,而半導(dǎo)體工藝一般指類似于FINFIT的半導(dǎo)體工藝,具體工藝路線劃分見下圖。

      理清了概念接下來就目前制程及未來發(fā)展情況進(jìn)行探討。

      1.摩爾定律是否仍然適用?

      當(dāng)價格不變時,集成電路上可容納的元器件的數(shù)目,約每隔18~24個月便會增加一倍,性能也將提升一倍。這就是摩爾定律的大概內(nèi)容。

      單位面積內(nèi)晶體管數(shù)量翻倍并不意味著制程就要縮小一半,縮小一半的話單位面積晶體管數(shù)量就翻了4倍,所以如果要保證兩倍的成長,那么整代升級應(yīng)該乘以0.7。所以從14nm到10nm,以及后面從10nm到7nm,都是遵循了摩爾定律的整代升級。

      正常來說制程升級應(yīng)該是45nm—32nm—22nm—14nm—10nm,也就是經(jīng)典的Tick Tock,著名大廠intel采取的就是此類路線。

      綜上從理論上來說摩爾定律仍適用于之后的5nm,3nm。


      2.為何7nm讓intel遲遲推遲?

      我們在這不談臺積電的7nm量產(chǎn)是因為臺積電主要代工手機(jī)cpu,手機(jī)和電腦在cpu端是不同的難度也遠(yuǎn)遠(yuǎn)不同。只有當(dāng)intel大規(guī)模量產(chǎn)7nm才算正真的解決了這方面問題。

      目前7你nm存在的困難有幾點1.光刻機(jī)的限制 2.晶體管架構(gòu) 3.溝道材料

      首先光刻機(jī)在ASML最新的EUV技術(shù)下解決了,但數(shù)量少不夠大家分的,其次是工藝,現(xiàn)在采用的都是FinFET,它的全稱是“鰭式場效晶體管”,簡單說來就是講柵極之間的絕緣層加高,來增強(qiáng)絕緣效果減少漏電現(xiàn)象。說起來簡單其實困難還是不少的,最后是材料

      在進(jìn)入7nm工藝時,半導(dǎo)體中連接PN結(jié)的溝道材料也必須要作改變。由于硅的電子遷移率為1500c㎡/Vs,而鍺可達(dá)3900c㎡/Vs,同時硅器件的運行電壓是0.75~0.8V,而鍺器件僅為0.5V,因而鍺被認(rèn)為是MOSFET晶體管的首選材料,但是近來,III-V族材料開始受到廠商的更多關(guān)注。III-V族化合物半導(dǎo)體擁有更大的能隙和更高的電子遷移率,可以讓芯片承受更高的溫度并運行在更高的頻率上。且現(xiàn)有硅半導(dǎo)體工藝中的很多技術(shù)都可以應(yīng)用到III-V族材料半導(dǎo)體上,因此III-V族材料也被視為取代硅的理想材料。

      所以以目前intel在電腦端的占有率想用新制程取代舊的需要極大的數(shù)量和穩(wěn)定性,目前不足的設(shè)備和有待改進(jìn)的技術(shù)使得intel不急于使用最新制程。

      從上圖看Intel的10nm晶體管達(dá)到了100.8MTr/mm2全面勝過臺積電和三星的10nm制程,甚至比臺積電和GF的第一批7nm DUV都要更好。

      3.未來發(fā)展

      從目前7nm就遇到的阻力看下一代5nm會遇到更多問題,首先就是結(jié)構(gòu)上的優(yōu)化。

      上圖是IBM聯(lián)盟展示了沿著從源級(source)到漏級(drain)方向90度切開的晶體管橫截面,可以看到FinFET工藝上Channel是直立的,就如同鰭片的造型,將這些鰭片90度放到后,就變成了Nanowire的形狀。這也是IBM提出的將FinFET 90度放倒”的扁平堆棧化結(jié)構(gòu)。這也為下一代結(jié)構(gòu)提供了一定的思路。

      總結(jié):隨著摩爾定律逐漸逼近極限,隨著而來的問題需要工程師甚至科學(xué)家一起推動解決,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代科技的一顆明珠,我希望各個廠商能協(xié)同共進(jìn)推動未來更好發(fā)展。

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      作為一個半導(dǎo)體從業(yè)人員來解釋一下吧,問題其實沒有說明白為啥7納米是個極限,半導(dǎo)體芯片是在硅片上集成無數(shù)晶體管,這點大家都知道,而是怎么做到的呢?使用光來進(jìn)行蝕刻而成的,這當(dāng)中很多概念,首先,蝕刻需要把不需要的地方蝕刻,把需要的保留,形成立體的晶體管,這需要引入石英mask和紫外曝光的概念,簡單說,紫外線通過石英玻璃上面的圖形,穿過圖形的鏤空部分,照射到涂有但凡遇到紫外線就會硬化的一種化學(xué)材料,光阻,然后硬化的部分被蝕刻液給保護(hù)保留了下來,這就是蝕刻,那么問題來了,為啥說7納米是極限,是因為紫外線也是波,但凡波都有波峰波谷波長,而為了制作7納米工藝,需要石英mask上的圖形鏤空的尺寸進(jìn)一步縮小,小到紫外線都無法穿過,所以,現(xiàn)在都在引入極紫外,來突破這一極限,但是這種制程總會遇到物理極限的,除非完全革命性的制造思路。

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      7納米是制造工藝極限,再小的話,難度就越大,難度越大,相應(yīng)的時間和成本就越大,量產(chǎn)的話就更困難

      5納米甚至3納米才是物理極限

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      首先要說的是半導(dǎo)體的極限是有條件的,在某種條件下,7nm是半導(dǎo)體工藝的極限,如果要想做得更小,就必須在什么地方上進(jìn)行改進(jìn)。之所以會突破7nm的極限原因在于FinFET技術(shù)的運用。

      代工廠可能存在虛假宣傳:當(dāng)然業(yè)內(nèi)人士都知道,雖然目前三星、臺積電、英特爾都已做到10nm的工藝,然而他們的工藝參數(shù)上是有很大區(qū)別的,說得不客氣點,現(xiàn)在某些廠家的工藝可能只能算14nm,而廠商的宣傳卻是10nm或者是更小的工藝。如果工藝得到進(jìn)一步的改進(jìn),可能在技術(shù)上只到了10nm的工藝,而廠商可能就會宣傳它是7nm的工藝了。

      當(dāng)然代工廠是否存在虛假宣傳現(xiàn)在還不太好說,因為制程工藝是多少每個代工廠的計算方式會有所區(qū)別。不管怎樣,由于FinFET技術(shù)的運用,現(xiàn)在在理論上已經(jīng)很容易突破7nm的極限(量產(chǎn)還要考慮到成品率以及成本因素),很多快我們將能看到7nm的產(chǎn)品,再過幾年5nm、3nm的產(chǎn)品也將出現(xiàn),至于會不會出現(xiàn)更小的制程可能還得在材料上有所突破才能實現(xiàn)。

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      此前,新聞媒體曾報道,7nm工藝最靠近硅基半導(dǎo)體工藝的物理極限。之后,新聞媒體又報道,7nm工藝并不是半導(dǎo)體材料加工工藝的極限,后邊還先后有5nm工藝、3nm加工工藝,且5nm工藝、3nm加工工藝并沒有提升硅材料半導(dǎo)體材料工藝的極限。極限原本是一個數(shù)學(xué)術(shù)語。因此,即然7nm工藝后還先后有5nm工藝、3nm加工工藝,更精確的叫法應(yīng)是,為何原先說7nm工藝是半導(dǎo)體工藝的極限,但如今卻又出現(xiàn)了5nm工藝,3nm工藝呢”。



      芯片上集成化了非常多的晶體管,晶體管的柵極控制著電流能否從源極流入漏極,晶體管的源極和漏極間通過硅元素聯(lián)接。伴隨著晶體管的規(guī)格逐漸變小,源極和漏極中間的斷面也會隨著減少,當(dāng)減少到一定水平時,量子隧穿效用便會越來越更為容易。晶體管便失去開關(guān)的功效,邏輯電路也就蕩然無存了。2016年的情況下,有新聞媒體在互聯(lián)網(wǎng)上公布一篇文章稱,“生產(chǎn)商在選用目前硅材料芯片的狀況下,晶體管的柵長一旦小于7nm、晶體管中的電子器件就非常容易造成量子隧穿效用,這會給芯片生產(chǎn)商產(chǎn)生極大的挑戰(zhàn)”。因此,7nm工藝很可能,并非一定是硅芯片工藝的物理極限。



      據(jù)專業(yè)人士分析,“臺積電的3nm工藝,很可能才算是在摩爾定律下最終的工藝連接點,而且臺積電的3nm工藝會是重要的大轉(zhuǎn)折,以對接1nm工藝及1nm之中的次納米技術(shù)材料工藝”。不久前,臺積電的創(chuàng)辦人兼老總張忠謀也表明,摩爾定律在半導(dǎo)體芯片中至少還可續(xù)存十年,這在其中就包含5nm工藝、3nm工藝,而臺積電是否會研發(fā),及其可否研發(fā)出2nm加工工藝,則必須再等兩年才可以明確。

      最后說起的是,就算硅芯片終有一天非常地貼近物理極限,大家還能夠?qū)ふ业絼e的如選用新型材料等技術(shù)相對路徑來驅(qū)動計算特性不斷提高。



      在半導(dǎo)體芯片,說白了工藝極限是特殊而相對的,特殊指的是7nm極限是在半導(dǎo)體材料FinFET加工工藝下的物理極限;而相對的意思是每一次碰到短板的情況下,工業(yè)領(lǐng)域都是引進(jìn)新的原材料或構(gòu)造來擺脫傳統(tǒng)手工藝的局限。

      如今7nm是新的工藝極限,工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用了砷化銦鎵替代了單晶硅來提升元器件性能。

      總結(jié):自然這里邊的成本也是令人震驚的,每一代工藝的多元性和成本費都會升高,如今還可以支持最先進(jìn)工藝生產(chǎn)制造的生產(chǎn)商早已只剩余Intel、臺積電、三星和GlobalFoundries了。對于7nm以下而言,就需要依靠極紫外(EUV)光刻機(jī)了。

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      7nm 以下需要超級紫光EVU蝕刻,

      1.根據(jù)波粒二象性,光波也是粒子有大小的,一旦孔隙只能通過單個光子的時候就會發(fā)生衍射現(xiàn)象,就是說粒子會一分為二,到時候蝕刻出來的板子就是兩套不同排列組合的疊影??

      2.就像學(xué)校學(xué)的小孔成像一樣,一旦那個孔縫比光波還窄的話你還怎么通過怎么去蝕刻?哎呀編不下去了!別打我

      3.光子隧穿,當(dāng)工藝達(dá)到1nm的時候,由于柵格板(擋光子用的)太薄容易發(fā)生擊穿效應(yīng)。好比過濾用的膜失效了,東西全漏下去了。感覺自己越說越亂了咧大家還是去看專家的解釋吧!

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